工業主管機關計畫開發工業區徵收私有土地時，應擬具徵收計畫書，附具綱要計畫圖及徵收土地清冊，依規定申請核准徵收，並依下列程序辦理：
一、直轄市或縣（市）政府，於接到核定徵收土地案時，應即定期召集土地所有權人協議，從優補償地價；土地所有權人拒絕參與協議或經開會未能達成協議者，提請地價評議委員會暨標準地價評議委員會評定之。
二、直轄市或縣（市）政府，應於補償地價、補償費及遷移費協議成立或評定後三十日內公告徵收，並通知土地所有權人及土地他項權利人。公告期間為三十日，土地所有權人及利害關係人認為徵收有錯誤、遺漏或對補償地價或補償費或遷移費有意見時，應於公告期間內，申請更正或提出異議；直轄市或縣（市）政府，應即分別查明處理或提請地價評議委員會暨標準地價評議委員會復議。
三、公告期滿確定徵收後，由直轄市或縣（市）政府通知土地所有權人及他項權利人，於十五日內繳交土地權利書狀並附具有關書件，具領補償地價及補償費；逾期不繳交者，其權利書狀宣告作廢，其應補償之地價及補償費，依法提存之。
四、被徵收土地原設定之他項權利，因徵收確定而消滅；其權利價值，由直轄市或縣（市）政府於發給補償費時代為補償，並以其餘款交付被徵收土地所有權人。
前項協議之補償地價，為一般正常交易價格，不因當地土地公告現值之調整而重予協議或評定。
第一項之補償費，屬建築改良物者，按徵收當時該建築改良物之重建價格補償之；屬農作改良物者，於農作改良物被徵收時與其孳息成熟時期相距在一年以內者，按成熟時之孳息補償之；其逾一年者，按其種植及培育費用，並參酌現值補償之。建築改良物及農作改良物之補償費，由直轄市或縣（市）主管機關會同有關機關估定之，其查估基準，由直轄市或縣（市）政府定之。