工業主管機關計畫開發工業區徵收私有土地時，應擬具徵收計畫書，附具綱要計畫圖及徵收土地清冊，依規定申請核准徵收，並依下列程序辦理：
一、直轄市或縣（市）政府，於接到核定徵收土地案時，應即定期召集土地所有權人協議，從優補償地價；土地所有權人拒絕參與協議或經開會未能達成協議者，提請地價評議委員會暨標準地價評議委員會評定之。
二、直轄市或縣（市）政府，應於補償地價、補償費及遷移費協議成立或評定後三十日內公告徵收，並通知土地所有權人及土地他項權利人，公告期間為三十日，土地所有權人及利害關係人認為徵收有錯誤、遺漏或對補償地價或補償費或遷移費有意見時，應於公告期間內，申請更正或提出異議；直轄市或縣（市）政府，應即分別查明處理或提請地價評議委員會暨標準地價評議委員會復議。
三、公告期滿確定徵收後，由直轄市或縣（市）政府通知土地所有權人及他項權利人，於十五日內繳交土地權利書狀並附具有關書件，具領補償地價及補償費；逾期不繳交者，其權利書狀宣告作廢，其應補償之地價及補償費，依法提存之。
四、被徵收土地設定之他項權利，因徵收確定而消滅；其權利價值，由直轄市或縣（市）政府於發給補償費時代為補償，並以其餘款交付被徵收土地所有權人。
前項第一款所稱協議補償地價，係指一般買賣價格。
前項協議補償地價，不因當地土地公告現值之調整而重予協議或評定。
第一項第二款所稱補償費，其中之建築改良物，按重置價格補償，農作物按市價補償。