政府計劃開發工業用地時，由工業區主管機關擬具詳細徵收計畫書，附具計畫開發用地綱要計畫圖及徵收土地清冊，依規定分別送請省（市）政府核定，或送由內政部轉行政院核定，發交當地直轄市或縣（市）地政機關，依左列程序辦理徵收，並於辦理完畢後，層報行政院備查：
一、直轄市或縣（市）地政機關，於接到核定徵收土地案時，應即定期召集土地所有權人協議補償地價；未能達成協議者，提請標準地價評議委員會評定之。
二、直轄市或縣（市）地政機關，於接到核定徵收土地案時，應即派員調查一併徵收之土地改良物實況，作為計算補償費之依據；土地所有權人或利害關係人不得拒絕或妨害其調查。
三、直轄市或縣（市）地政機關，應於補償地價及土地改良物補償費協議成立或評定後十五日內公告徵收，並通知土地所有權人及土地他項權利人。公告期間為三十日；土地所有權人及利害關係人認為徵收有錯誤、遺漏或對補償地價或補償費有意見時，應於公告期間內申請更正或提出異議。直轄市或縣（市）地政機關，應即分別查明處理或提請標準地價評議委員會復議。
四、公告期滿確定徵收後，由直轄市或縣（市）地政機關通知土地所有權人，於二十日內繳交土地所有權狀及有關證件，具領補償地價及補償費；逾期不繳交者，宣告其權狀及證件無效，其應補償之地價及補償費依法提存之。
五、被徵收土地原設定之他項權利，因徵收確定而消滅；其權利價值，由直轄市或縣（市）地政機關於發給補償費時代為補償，並以其餘款交付被徵收土地之所有權人。
六、被徵收土地承租人之損失補償，由直轄市或縣（市）地政機關依第六十五條之規定處理。
七、補償地價及補償費發給完竣後，由直轄市或縣（市）地政機關逕行辦理土地權利變更登記。