政府計劃開發工業用地時，由工業區主管機關擬具詳細徵收計畫書，附具計劃開發用地綱要計畫圖及徵收土地清冊，送請省（市）政府於十五日內核定，轉交當地直轄市或縣（市）地政機關依左列程序辦理徵收，並於辦理完畢後，層報行政院備查：
一、直轄市或縣（市）地政機關於接到核定徵收土地案時，應即定期召集土地所有權人協議補償地價。
二、直轄市或縣（市）地政機關應於協議後十五日內，辦理公告徵收，並通知土地所有權人及土地他項權利人，公告期間為三十日；土地所有權人及利害關係人認為徵收有錯誤或遺漏時，應於公告期間內申請更正。
三、公告期滿確定徵收後，由直轄市或縣（市）地政機關通知土地所有權人於十日內，繳交土地所有權狀及有關證件，具領補償地價及補償費；逾期不繳交者，宣告其權狀及證件無效，其應補償之地價及補償費依法提存之。
四、被徵收土地原設定之他項權利，因徵收確定而消滅；其權利價值，由直轄市或縣（市）地政機關於發給補償金時代為補償，並以其餘款交付被徵收土地之所有權人。
五、被徵收土地承租人之損失補償，由直轄市或縣（市）地政機關依第五十四條之規定處理。
六、補償地價及補償費發給完竣後，由直轄市或縣（市）地政機關逕行辦理土地權利變更登記。